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型號：大面積矩形腔微波等離子體系統(tǒng)

說明：微波等離子體

GMPS-2010K大面積矩形腔微波等離子體系統(tǒng)

一、技術特點及用途

● HMPS-2010K是一套開槽波導耦合，以大面積矩形等離子體放電腔模型為依據(jù)，結合我公司多年搞微波等離子體系統(tǒng)的優(yōu)勢專門設計研制的1Kw/2450MHz多用途、高穩(wěn)定中等壓強微波等離子體綜合實驗和加工設備。

● 系統(tǒng)將微波源，微波傳輸系統(tǒng)，真空和測量系統(tǒng)，兩路氣體質量流量控制系統(tǒng)以及總體電氣控制系統(tǒng)等各部分有機地組合成的一套完整的設備，它具有性能先進、功能完善、結構合理，使用方便、安全可靠、外形美觀，特別適合應用于多種微波等離子體綜合實驗和加工等高新科技領域。

二、系統(tǒng)組成和主要特點：

●系統(tǒng)選用我們研制成功的新一代HMG-2010C，1Kw/2450MHz高穩(wěn)定計算機程控微波功率源，其微波功率0.1 ~ 1kW連續(xù)可調，穩(wěn)定度優(yōu)于±1%，控制性能好，內部單片機提供方便手動程控，實現(xiàn)程序控制，由于采用了先進的磁控管燈絲降壓跟蹤技術，無電容電感濾波的高精度電壓反饋調整穩(wěn)定技術以及完善的線路安全閉鎖控制系統(tǒng)，使系統(tǒng)工作壽命長，性能優(yōu)良，安全可靠，操作簡單方便。

●系統(tǒng)采用了由高性能微波環(huán)行器，電動三銷釘調配器，帶反射波取樣的水負載以及過度等連接波導組成的優(yōu)良微波傳輸系統(tǒng)。它確保反射波對磁控管的良好隔離，使之穩(wěn)定工作，又能在等離子體負載大范圍變化時能方便地調節(jié)最佳匹配，達到微波功率的最佳傳輸，并通過反射波取樣，以數(shù)字顯示反射功率大小和實時工作狀態(tài)。

●多端口矩形微波等離子體放電腔，本系統(tǒng)采用了5個端口，由優(yōu)質不銹鋼焊接而成的水冷結構的大容積放電腔，它與長的開槽波導連成一體，其上表面通過一塊高品質石英板（440x200x15mm）保持微波傳輸和真空密封，該放電腔具有以下功能端口：

1）在放電腔右側面開設φ150mm園形旋轉門式進出料窗口，可方便放入大直徑的基片樣品，又帶石英玻璃和網(wǎng)狀微波屏蔽窗口，工作時清楚觀察腔內放電工作情況。

2）在放電腔中部前后設置2個φ150mm帶石英玻璃和網(wǎng)狀微波屏蔽的備用窗口, 可供基片表面觀測和其它測量需要時的標準接口.

3）在放電腔底部中間設置一個KF-25標準端口與真空泵和真空系統(tǒng)相連結。

4）在放電腔后部對稱設置2個KF-25標準端口供測溫和等離子體診斷接口。

5）在放電腔左側面設計標準接口與供氣和氣體質量流量控制系統(tǒng)相連接。 真空獲得和測控系統(tǒng)，系統(tǒng)選用抽速為 4L / min的直連式高性能機械泵和電磁閥，其極限真空度6×10-2 Pa，系統(tǒng)備有中低壓強電阻（大氣~ 1x10-1Pa）和壓（100Pa~100kPa）兩套真空計，測量儀表置于機柜之中, 方便真空和氣體流量的控制和讀數(shù)。

●氣體質量流量控制系統(tǒng)，采用兩路氣體質量流量控制系統(tǒng)，內置于設備機柜中，氣路短、緊湊、通過角閥和針閥控制調節(jié)十分方便。 

●系統(tǒng)還設計了功能齊全，保護良好的總體電氣控制系統(tǒng)，一起集成于一臺機柜中，它具有性能先進、功能完善、結構合理，使用方便、安全可靠、外形美觀。

三、技術參數(shù)

聯(lián)系電話：028-84372044 

張經(jīng)理：13628002725