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型號(hào)：多用途微波等離子體（CVD）系統(tǒng)
說(shuō)明：微波等離子應(yīng)用
GMPS-2050多用途微波等離子體（CVD）系統(tǒng)
技術(shù)特點(diǎn)及用途
● 系統(tǒng)采用GMG-2050，5kW/2450MHz高穩(wěn)定程控微波功率源。運(yùn)用完善的線路安全閉鎖控制系統(tǒng)，使該系統(tǒng)工作壽命長(zhǎng)，電氣性能優(yōu)良，安全可靠，操作簡(jiǎn)單方便。
● 微波傳輸系統(tǒng)由高性能微波環(huán)行器，銷釘調(diào)配器，帶反射波取樣的水負(fù)載以及外部連接波導(dǎo)組成。它確保反射波對(duì)磁控管的良好隔離，并能方便地調(diào)節(jié)最佳匹配，達(dá)到微波功率的最佳傳輸。
● 下注式微波反應(yīng)腔可在很寬的運(yùn)行范圍內(nèi)把微波功率耦合給等離子體，在等離子體放電室中產(chǎn)生高密度、高電離度、大面積均勻穩(wěn)定的微波放電。為確保穩(wěn)定工作, 腔壁采用雙層水冷。
● 多端口等離子體放電腔帶8～12個(gè)端口，是雙層水冷結(jié)構(gòu)的大容積放電腔。
● 系統(tǒng)主要用途： 1）金剛石等多種薄膜的化學(xué)汽相沉積的研究和中試加工；2）基片的刻蝕和灰化；3）作為高密度、寬束離子源；4）低溫氧化物的生長(zhǎng)；5）等離子體表面處理和其它實(shí)驗(yàn)加工。
技術(shù)參數(shù) | |
微波源： | HMG-2050 |
工作頻率： | 2450±50MHz |
輸出功率： | 0.5 ~ 5kW 連續(xù)可調(diào) |
功率穩(wěn)定度： | 優(yōu)于±1% |
輸出波導(dǎo)接口： | BJ-26 帶FD-26標(biāo)準(zhǔn)法蘭 |
輸入電源： | 380V/50Hz±5% 三相四線 |
冷卻水流量： | > 5L/min |
微波反應(yīng)腔 | 下注TM013模式 |
微波放電腔： | 多端口，帶雙層水冷 |
真空系統(tǒng)： | 450L/min分子泵和旁路機(jī)組，中氣壓真空測(cè)控 |
氣路系統(tǒng)： | 4路MFC控制 |
樣品支架系統(tǒng)： | 基板直徑φ100 mm，軸向調(diào)節(jié)距離：0～150 mm |
直流偏壓源： | V=300V I=100mA |
聯(lián)系電話：028-84372044 張經(jīng)理：13628002725
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