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型號:2450MHz程控微波功率源系列
說明:微波功率源
2450MHz 程控微波功率源
技術(shù)特點(diǎn)
● 該系列微波源可提供:1KW,1.5KW,2KW,3KW,5KW,10KW,六種型號的產(chǎn)品,都采用大功率水冷磁控管,性能先進(jìn),工作可靠。1KW可采用開關(guān)電源。
● 系統(tǒng)控制采用單片機(jī)與調(diào)整管和輔助線圈組成的自控設(shè)計方案,同時運(yùn)用燈絲降壓線路,實(shí)現(xiàn)微波輸出功率低波紋,連續(xù)可調(diào),它具有穩(wěn)定性高,壽命長,保護(hù)措施完善,操作簡單等特點(diǎn)。
● 系統(tǒng)提供手動和編程兩種控制方式,并使用數(shù)碼顯示器分別顯示輸出功率,反射功率和工作時間。
● 本產(chǎn)品廣泛地用與CVD金剛石和類金剛石膜、微波等離子體刻蝕、陶瓷燒結(jié)、ECR離子源以及其它系統(tǒng)中所需的微波源。
● 系統(tǒng)可根據(jù)要求自行選配環(huán)行器、電動銷釘調(diào)配器、水負(fù)載、定向耦合器等匹配組件。
技 術(shù) 指 標(biāo) | |||||
型號 | GMG-2010 | GMG-2020 | GMG-2030 | GMG-2050 | GMG-2100 |
工作頻率 | 2450MHz±15MHz | ||||
輸出功率 | 0.1~1kw | 0.2~2kw | 0.3~3kw | 0.5~5kw | 1~10kw |
功率穩(wěn)定度 | ±1%(滿功率時) | ||||
功 耗 | 2kw | 3kw | 4.5kw | 8kw | 15kw |
電源 | 308VAC±5%/50MHz三相四線 | ||||
冷 卻 水 | 3L/min | 3L/min | 4L/min | 4L/min | 6L/min |
輸出波導(dǎo) | BJ-26/FD-26法蘭 | BJ-22/FD-22法蘭 | |||
磁控管功率頭 | 外置 | 內(nèi)置 | |||
微波泄漏 | 符合國家標(biāo)準(zhǔn) |
聯(lián)系電話:028-84372044 張經(jīng)理:13628002725
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