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和Pirani真空計一樣,熱電偶真空計也是利用氣體分子的熱傳導(dǎo)現(xiàn)象,因?yàn)閮r格低廉,被廣泛應(yīng)用到中真空領(lǐng)域。
構(gòu)造和原理
熱電偶接在白金或鎢的細(xì)線上。這段細(xì)線通過電流后會發(fā)熱。發(fā)出的熱量通過周圍氣體分子的熱傳導(dǎo),或細(xì)線本身的固體熱傳導(dǎo),或熱輻射放出。利用氣體分子承擔(dān)的熱傳導(dǎo)量與壓力成正比的特點(diǎn)是此真空計的原理。
如果保持細(xì)線的發(fā)熱量即保持一定的電流,則周圍壓力高的時候氣體奪走的熱量較多,致使細(xì)線的溫度較低。反過來周圍壓力低的時候細(xì)線的溫度會升高。這種溫度的變化通過熱電偶檢測出來,將熱電偶的起電力換成壓力之后即可知真空腔內(nèi)的壓力。
特征
利用氣體分子的熱傳導(dǎo)現(xiàn)象,可能測量的壓力范圍在1~300Pa之間。熱電偶真空計測得細(xì)線溫度同時,也受到細(xì)線本身的固體熱傳導(dǎo)和熱輻射放熱的影響。因此精度不高。但是電路簡單,價格低廉
另外此真空計在大氣壓狀態(tài)下也不會燒損。而且測得的壓力值通過電信號被取出,因此在自動控制方面容易控制。
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